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Soluzioni per i processi PECVD nella produzione di semiconduttori

Gestione dell’alta e bassa temperatura nella produzione PECVD dei semiconduttori per la produzione di celle solari

Lavorazione con deposizione chimica da vapore potenziata dal plasma (PECVD)

Il processo descritto è la diffusione e la deposizione di vapore chimico potenziato del plasma (PECVD) per la fabbricazione di celle solari. Il processo PECVD è un processo di deposizione di vapore finalizzato alla crescita e alla deposizione di film ultrasottili sul wafer a partire da uno stato gassoso.